Caractérisation par ellipsométrie et par réflectométrie RX des multicouches nanométriques de tungstène-carbone (W-C) formés par pulvérisation cathodique

Notice brève
dc.contributor.authorHACINI Noureddine
dc.date.accessioned2022-11-27T21:10:30Z
dc.date.available2022-11-27T21:10:30Z
dc.date.issued2007-12-10
dc.description.abstractNous avons consacré ce travail à la présentation des méthodes de croissances des couches minces en s’intéressant plus particulièrement à la méthode de la pulvérisation cathodique et à la méthode PLD. Les couches nanométriques de tungstène-carbone élaborées essentiellement par pulvérisation cathodique ont été caractérisées par ellipsométrie et par réflectométrie RX. Ces deux techniques ont permis de contrôler les couches étape par étape en déterminant les paramètres associés comme la période et la rugosité. Bien que le but du travail n’a pas été atteint (détermination des propriétés mécaniques des multicouches comme la dureté ou le module de Young), nous pouvons déjà dire que les couches que nous avons élaborées sont de bonnes qualités. Les premiers tests que nous avons commencés en mesurant quelques propriétés nanométriques par nanoindentation sont très encourageants et méritent d’être approfondi c’est ce que nous envisageons en perspective.
dc.identifier.urihttps://dspace.univ-oran1.dz/handle/123456789/1291
dc.language.isofr
dc.subjectRéflectométrie RX
dc.subjectEllipsométrie
dc.subjectTungstène
dc.subjectCarbone
dc.subjectPulvérisation Cathodique
dc.subjectMBE
dc.subjectPLD
dc.subjectDC
dc.subjectW/Si
dc.subjectC/Gaas
dc.titleCaractérisation par ellipsométrie et par réflectométrie RX des multicouches nanométriques de tungstène-carbone (W-C) formés par pulvérisation cathodique
grade.Co-rapporteurS. LABDI, Maitre de Conférences, Université d’Evry Val d’Essonne
grade.ExaminateurY. BOUIZEM, Professeur, Université d’Oran
grade.PrésidentM. HACHI, Professeur, Université d’Oran
grade.RapporteurM. GHAMNIA, Professuer, Université d’Oran
la.SpécialitéPhysique
la.coteTH2595
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