Faculté des sciences exactes et appliquées

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Parcourir la collection Faculté des sciences exactes et appliquées par Auteur "ABBES Charef"

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    Etude par Ellipsomètrie de la structure du silicium microcristallin hydrogènè µc-Si: H
    (2006) ABBES Charef
    Dans ce travail nous nous intéressons à rélude de rellél des conditions de dépôt sur les propriétés structurales des couches à base de silicium tléposées par pulvérisation cathodique el par décomposition du silane assistée par plasma radiofréquenee (PIXA'D). le chapitre I donne un aperçu général et comparatif des différentes structures du silicium amorphe hydrogéné, r le caractériser Dans le deuxième chapitre nous décrivons les techniques d'élaboration de ce matériau, et nous exposons le principe de rellipsomélrie que nous avons utilisée pour le caractériser. En fm. le dernier chapitre est consacré aux résultats cxpénmenlaux obtenus. Nous examinons en particulier Teffet des conditions de dépôt à savoir la pression des gaz et de la température sur la structure du matériau préparé par deux techniques d'élaboration différentes : la pulvérisation cathodique et la PIX'VD. Nous examinons également la stabilité structurale des couches au cours du temps ainsi que l'eflet du substrat sur celle struc